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什么测量仪器可以精度达到0.01~0.1微米？
测量精度在微米级的仪器，用测量显微镜就可以满足。Z轴可以保证2.5um，XY可以保证1.5um。如果你觉得这个精度还不够，可以考虑白光干涉仪，精度可以到0.1nm。