高纯气体的物化性质及应用
高纯气体的物化性质及应用:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等,还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。
在常温常压下,氮为无色无臭无味的惰性气体。氮在空气中约占78.1%。液态氮也是无色无臭,比水轻。在空气中不燃烧。常温下呈现惰性,但在高温下与氧化合。在高温高压有催化剂时与氢化合成氨。
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