高纯气体的供应系统介绍。将高纯气体钢瓶设置在用气设备附近直接供气，常用于用气量很少的场所，《规范》规定，当日用气量不超过一瓶(指水容积不超过40L的钢瓶)时，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施，若工艺对高纯气体要求较为严格时，比如气体中总杂质含量≤1.0×10-6时，还需要在气瓶与用气设备之间设置末端气体提纯装置，包括高精度气体过滤器，以确保供气质量。