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高纯气体的常见杂质有哪些?
高纯气体的常见杂质有哪些?北京南飞工贸来为你讲解。
  常规杂质:H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O
  特殊杂质
  颗粒物
  油份
  金属离子
  同位素物质污染
  亚稳态物质污染
  杂质来源
  原料污染
  生产工艺副产物
  工艺失效污染
  过程污染
  环境带入:空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分
  生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份
  生产工艺富集
  包装污染
  残气污染
  包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物
  分解聚合污染